高温真空气氛炉使用需注意的事项退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
1、工件--工件车须经清洗枯燥前方克进入炉内，避免水份、污物进入炉内。
2、各传动件发现卡位，限位不准，控制失灵等现象时，应立刻扫除，不要强操作，以免损坏机件。
3、不能超负荷运用高温真空气氛炉，高温真空氛围炉的*高运用温度是指元件在真空中允许的自身外表温度，并不是指加热物质的温度或加热元件四周的温度。要留意真空电热元件自身的温度一股比它四周的介质温度或被加热温度高100℃。
4、丈量高温真空气氛炉温平均性时，应留意测温触点的定位捆绑方式，以及距加热元件的远近。高温真空氛围炉内经常(至少每天或每班运用前)用毛刷、扫帚或紧缩空气、吸尘器等清洁炉膛，要避免炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发作短路，以至烧坏钼加热棒。底板、钼加热棒、炉保温层等耐热钢构件每运用一段时间，应该停止清算，严禁敲击，可当心**其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时**，就会熔融处与保温层发作打火，使钼丝凝结。
5、要防止加热元件和产品发作反响，特别足铜、铝、锌、锡、铅等与真空加热元件接触，无论是细粉、熔液或蒸汽等，避免在电加热体外表腐蚀构成“麻坑”，截面变小，*后过热而烧断。
6、高温真空氛围炉子升温后，不能忽然毁坏真空系统，更不可翻开高温真空氛围炉炉门。留意充大气进去前,应关闭真空计开关,避免真空计老化。当温度高于400℃时，不得急剧冷却。关于真空加热元件在温度高、真空度不好以及冷热变化大状况下，容易惹起氧化。关于钼加热炉，正常运用维护中留意应冷却至200℃以下方可停送维护氮气。80℃以下才干翻开炉门。
7、冷却系统是高温真空气氛炉的重要局部。冷却水路应坚持畅透，否则水温升高形成停机。这是高温真空氛围炉工作经常披无视的问题当无人管理时可能会招致高温真空氛围炉的严重破坏。用生物合成化学辅助办法处置冷却水，目的是坚持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流利通。这普通采用一种自动安装来完成，它能够监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新颖水。与隶属蒸气过滤系统配合，这种办法还能够保证水的h值控制，避免在冷却水系统中多余矿物质堆积。在系统工作稳定后，至少应每月一次停止水质实验以防过处置或欠过理。高温真空氛围炉外壳和热交流器资料的实验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处置的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必需特别留意。应该经常检查。假如梗塞了，扩散泵将会过热并丧失功用，而且还进一步惹起扩散泵加热器烧毁，形成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管梗塞时，将水路同水源断开，排水并用紧缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。
8、冷却系统是高温真空氛围炉的重要局部。冷却水路应坚持畅透，否则水温升高形成停机。这是高温真空氛围炉工作经常披无视的问题当无人管理时可能会招致高温真空氛围炉的严重破坏。用生物合成化学辅助办法处置冷却水，目的是坚持矿物质呈悬浮态，减少橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流利通。这普通采用一种自动安装来完成，它能够监测水的导电性，自动补充化学剂，冲冼水路，添加新颖水。与隶属蒸气过滤系统配合，这种办法还能够保证水的h值控制，避免在冷却水系统中多余矿物质堆积。在系统工作稳定后，至少应每月一次停止水质实验以防过处置或欠过理。高温真空氛围炉外壳和热交流器资料的实验样品也应放在水路系统中，每年做一次重量损失检验以检查处置的效果。对扩散泵的蛇形管冷却器必需特别留意。应该经常检查。假如梗塞了，扩散泵将会过热并丧失功用，而且还进一步惹起扩散泵加热器烧毁，形成昂贵的、费时的修理。当蛇形冷却水管梗塞时，将水路同水源断开，排水并用紧缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲洗。